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高純供氣系統(tǒng)公司詢問報價【艾明坷】
2021-06-18






大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。特氣系統(tǒng)知識分享:一般混合氣體由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。

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試驗室供氣現(xiàn)狀

目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時,當?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域,然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)。

但是考慮安全和效率因素,不考慮經(jīng)濟性因素,集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當今試驗室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應源,氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi),并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

國內(nèi)比較老的試驗室在使用氣體的時候大多是將氣瓶放在用氣點的旁邊,然后在氣瓶出口處安裝一個減壓器,然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上,如果一個試驗室里有多個使用設(shè)備時,就會有很多氣瓶,同時有很多雜亂的管路,同時這些氣體不乏有毒氣體、強腐蝕氣體,以及氣瓶出口高壓等因素,使得這種方式在現(xiàn)實使用過程中是充滿危險性的。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內(nèi)使用可燃氣體處、敷設(shè)可燃氣體的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設(shè)置可燃氣體報警裝置。

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特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性,如氧氣遇油脂著火,氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶,惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應輕裝輕卸,嚴禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上,并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮氣、二氧化碳等)進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時,應對氣體及電氣采取適當?shù)谋Wo措施。不要使用損壞的設(shè)備,如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應比較干燥,并有良好通風,嚴禁明火和其它熱源,嚴禁曝曬可燃氣瓶或氧氣瓶附近嚴禁吸煙,氣瓶不應接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒,應永遠使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。 




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